Smart SE，智能型多功能橢偏儀是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快，準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數（n, k）以及薄膜結構特性（如粗糙度、光學梯度及各向異性等）。

Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內對450-1000nm的光譜數據進行采集、建模分析。自動化雙軟件操作平臺，從簡化的工作流程到高端研發，滿足不同層次和需求的客戶。

Smart SE是一款性價比更高的薄膜研發工具，以經濟實惠的價格提供了研究級的性能。標配一套完整樣品可視化系統，準確定位分析位置及區域，7個不同尺寸的微光斑可用于微區特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復雜樣本的研究。

Smart SE配置靈活、具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單、快速、準確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試。Smart Se可以滿足各類應用領域，包括微電子，光伏，顯示，光學涂料，表面處理和有機化合物等。

性能指標

光譜范圍	450nm to 1000nm
光譜分辨率	優于3nm
光源	鹵素燈和藍光LED
測試時間	小于1秒到10秒
光斑尺寸	75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm
入射角	450 to 900 ，步徑50
樣品尺寸	200mm以內
樣品準直	手動調整樣品臺高度（17mm以內）和傾角
外形尺寸	100cm * 46cm * 23cm(WHD)